1

机台整机规格

PM120L: 1320(W)×1720(H)×1030(D)mm
 PM180L: 1400(W)×1720(H)×1050(D)mm

2

真空室规格

550(W)×635(H)×535(D)mm

3

电极板规格

 PM120L:  10层平板式电极板（470(W)×410(D)mm）可定制

 PM180L:  10层平板式电极板（530(L)×400(W)mm）可定制

4

控制系统

触摸屏+PLC控制

5

真空测定系统

皮拉尼电阻式真空计

6

气体计量系统

精确质量流量控制计 MFC

7

气体路数

2—5路工作气体可选：Ar2、N2、H2、CF4、O2

8

等离子发生器

500W&1KW等离子体发生源，40KHz（可选13.56MHz）

9

工作气体

2路工作气体可选：Ar2、N2、H2、O2

特 点：高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持。

用 途：适用于摄像头及行业，手机制造、半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等。

1、摄像头、指纹识别行业：软硬结合板的金PAD表面去氧化；IR表面清洗、清洁；

2、半导体IC领域：COB、COG、COF、ACF工艺，用于打线、焊接前的清洗 ；

3、硅胶、塑胶、聚合体领域：硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。