低温等离子体（Plasma）应用已经是一个具有全球影响的重要的科学与工程，对高科技经济的发展及传统工业的改造有着巨大的影响。不少微电子器件设备都采用等离子体技术；较多高分子材料都要经过低温等离子体的表面处理和改性。二十一世纪低温等离子体科学与技术将会产生突破，低温等离子体技术在半导体工业、聚合物薄膜、材料防腐蚀、等离子体电子学、等离子体合成、等离子体冶金、等离子体煤化工、等离子体三废处理等领域对传统工艺将有革命性的改变。
        等离子体辅助加工被用来制造特种优良性能的新材料、研制新的化学物质和化学过程，加工、改造和精制材料及其表面，具有极其广泛的工业应用--从薄膜沉积、等离子体聚合、微电路制造到焊接、工具硬化、超微粉的合成、等离子体喷涂、等离子体冶金、等离子体化工、等离子体辅助加工目前已开辟的应用领域包括：
●半导体集成电路及其它微电子设备的制造
●工具、模具及工程金属的硬化
●药品的生物相溶性包装材料的制备
●表面防蚀及其它薄层的沉积
●特殊陶瓷（包括超导材料，粉末）
●新的化学物质及材料的制造
●聚合物薄膜的印刷和制备
●有害废物的处理
●磁记录材料和光学材料
●精细加工
●照明及显示
●电子电路及等离子体二极管开关
●等离子体化工（氢等离子体裂解煤制乙炔、等离子体煤气化、等离子体裂解重烃、等离子体制炭黑、等离子体制电石等）