1

机台整机规格

2990（W）*1905（D）*2335（H）mm

2

真空室规格

2230（W）*1250（D）*1320（H）

3

有效处理区尺寸

≤500宽幅

4

真空电极结构

垂直8层7层处理区

5

机台总重

约3500kg

6

额定功率

35KW

7

机台供电

AC-380V-50HZ,三相五线

8

抽真空极限压力

≤40mtorr

9

抽真空时间

≤240秒

10

破真空时间

≤120秒

机台用途：用于处理PI聚酰亚胺薄膜、FPC柔性线路板的真空卷对卷设备；

设备特点：主要用于处理100～650mm宽幅之材料，材料在真空室内部垂直处理，上下料简单，可用于刻蚀工艺。