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什么是等离子清洗机?有何特征?
Date:2020-01-22 04:01:34 From:OKSUN
等离子清洗机又称等离子表面处理仪器,是一种全新的高科技技术。等离子清洗机是利用等离子来达到传统清洗方法无法达到的效果。等离子体是一种物质状态,也称为第四种物质状态。对气体施加足够的能量使其电离,就变成了等离子体状态。等离子体的“活性”成分包括离子、电子、活性基团、受激核素(亚稳态)、光子等。等离子清洗机是利用这些活性成分的性质来处理样品表面,从而达到清洗等目的。
等离子清洗机的清洗主要依靠等离子体中活性粒子的“活化”来去除物体表面的污渍。就反应机理而言,等离子体清洗通常包括以下过程:无机气体被激发成等离子体状态;气相物质吸附在固体表面;吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子;分析产物分子以形成气相;反应残留物从表面分离。
等离子清洗机清洗的特点是可以处理金属、半导体、氧化物和大多数聚合物材料,例如聚丙烯、聚酯、聚酰亚胺、聚氯乙烯、环氧树脂甚至聚四氟乙烯,而不管要处理的基材类型如何。等离子清洗机还可以实现整体、局部和复杂结构的清洗。
等离子清洗机清洗时产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场,用真空泵实现一定的真空度。随着气体变得越来越稀薄,分子或离子的分子间距和自由移动距离也变得越来越长。在电场的作用下,它们碰撞形成等离子体。
等离子清洗机的等离子体活性很高,有足够的能量破坏几乎所有的化学键,并在任何暴露的表面上引起化学反应。不同气体的等离子体具有不同的化学性质。例如,氧等离子体具有很高的氧化性能,可以氧化光刻胶产生气体,从而达到清洗效果。腐蚀性气体等离子体具有良好的各向异性,能够满足刻蚀的需要。辉光是在等离子体处理过程中发出的,所以它被称为辉光放电处理。
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