氧氩氢氮工艺气体用于等离子清洗机中如何选择?

等离子清洗机常用的工艺气体有氧气 、氩气 、氮气、压缩空气 、二氧化碳 、氢气、四氟化碳等。它是将气体电离产生等离子体对工件进行表面处理，无论是进行清洗还是表面活化，为达到最佳的处理效果会选用不同的工艺气体，那么等离子清洗机的常用工艺气体又该如何选择呢？今天就为大家分享一下相关基础知识，供大家分享。

氧气主要应用于高分子材料表面活化及有机污染物去除，但不适用于易氧化的金属表面。真空等离子状态下的氧等离子呈现淡蓝色，部分放电条件下类似白色。放电环境光线比较亮，肉眼观察时可能会出现看不到真空腔体内有放电的情况。

氩 气

氩气在真空等离子清洗机中被电离所产生的等离子体呈暗红色。在相同的放电环境下，氢气和氮气所产生的等离子体颜色都是呈红色，但氩等离子体的亮度会低于氮气且高于氢气，还是比较好区分的。

①表面清洗

等离子清洗机的表面粗化又称表面刻蚀，其目的是提升材料表面的粗糙度，以增加粘接、印刷、焊接等工艺结合力，经氩等离子清洗机处理后的表面张力会明显提升。活性气体所产生的等离子体也可以增加表面的粗糙度，但氩气电离后产生的粒子相对较重，氩离子在电场的作用下的动能会明显高于活性气体，所以其粗化效果会更加明显，在无机物基材表面粗化工艺中应用最为广泛。如玻璃基材表面处理、金属基材表面处理等。

③活性气体辅助

因氢气为危险性气体，未被电离时与氧气汇合会发生自爆，所以在等离子清洗机中通常是禁止两种气体混合使用的。真空等离子状态下氢等离子呈红色，与氩等离子类似，要相同的放电环境下比氩等离子颜色略深。

氮 气

氮气电离形成的等离子体能够与部分分子结构发生键合反应，所以也是一种活性气体，但相对于氧气和氢气而言，其粒子比较重，通常情况下在等离子清洗机应用中会把此气体界定在活性气体氧气、氢气与惰性气体氩气之间的一种气体。在清洗活化的同时能够达到一定轰击、刻蚀的效果，同时能够防止部分金属表面出现氧化。氮气与其他气体组合形成的等离子体通常会被应用于一些特殊材料的处理。真空等离子状态下氮等离子也是呈红色，在相同的放电环境下，氮等离子会比氩等离子和氢等离子更亮一些。