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实验型等离子处理机
实验用真空等离子设备PR10L
产品介绍

编号

项目

技术参数

1

机台整机规格

650mm(W)×550mm(D)×450mm(H)

2

真空室规格

进口铝  200(W)×200(H)×250(D)mm,10L

3

电极板规格

专用铝电极  150(L)×150(W)mm

4

真空泵系统

机械旋片真空泵(外置)

5

真空测定系统

皮拉尼电阻式真空计

6

气体计量系统

可调节浮子流量计

7

气体路数

2路进1路放空

8

等离子发生器

40KHz,高频发生源,0-1000W可调

9

工作气体

2路工作气体可选:Ar2N2H2O2

特 点:高精度,快响应,良好的操控性和兼容性,完善的功能和专业的技术支持

适用于高校实验室、半导体IC领域,体积较小的产品的表面情急与活化。

用 途:适用于摄像头及行业,手机制造、半导体IC领域,硅胶、塑胶、聚合体领域,汽车电子行业,航空工业等。

1、摄像头、指纹识别行业:软硬结合板的金PAD表面去氧化;IR表面清洗、清洁;

2、半导体IC领域:COBCOGCOFACF工艺,用于打线、焊接前的清洗 ;

3、硅胶、塑胶、聚合体领域:硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。


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