1

机台型号

准辉光常压宽幅等离子模组

3

机台规格

紧凑的模块化设计 (宽：60mm)

4

处理宽度

100~10000mm（可定制）

5

基片温度

< ~ 40 °C

6

处理速度

 约400毫米/分钟 (接触角< 10 °)

7

臭氧释放量

 ( < ~ 0.01 ppm)

特点：模块化设计，结构紧凑，便于安装到流水线设备上。有极好的高速处理效果。较低的等离子处理温度不存在热损伤和热氧化的问题

主要应用：白玻璃 清洁，绝缘薄膜清洁活化，平板覆膜清洁。