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等离子设备半导体行业应用
Date：2015-11-23 09:11:15 From：OKSUN
深圳大型正规网投平台专业等离子设备销售及生产厂家是采用微波等离子工艺用于芯片制造、MEMS器件、光伏电池、平板显示器和探测器等领域的市场领导者。在光刻胶灰化、晶圆减薄和应力去除、打线前的bond pad清洁、封胶前的活化等应用中用安全的微波等离子对硅、三五族化合物、铌酸锂等半导体材料进行处理。微波等离子体特别适合于处理对静电敏感的器件。
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